【类型】期刊

【题名】P型氮掺杂ZnO薄膜的光学特性研究

【作者】 郭松林，徐小勇，施卫国

【关键词】 受主掺杂 P型ZnO 红移 磁控溅射 施主缺陷

【摘要】以N2为P型掺杂源,利用射频磁控溅射技术,通过改变O2:N2比制备了不同N掺杂量的P型ZnO薄膜,详细研究分析了N掺杂ZnO薄膜的PL谱及电学性能。结果表明,随着O2:N2的变化,不仅薄膜的峰位发生了变化,其强度也进行相应的变化。当O2:N2为10:10时,薄膜具有三个发光峰,且UV峰发光强度最大,此时薄膜呈现出明显的P型特征。

【年份】2020

【页码】59-62

【期号】第6期

【作者单位】萍乡高等专科学校化学工程系；湖南大学材料科学与工程学院

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